处理温度在200℃以下印刷制造CNT晶体管
日期:2009-03-05 00:00
T晶体管形成工艺采用分配（Dispense）技术涂布和干燥包含有Ag、绝缘材料和CNT在内的油墨，分别形成Ag栅极、源极和漏极、栅极绝缘膜以及CNT通道。
使用的油墨方面，仅仅优化为单凭滴下装置即可滴出的油墨还无法利用。需要分别将具有不同性质的金属、绝缘材料和半导体材料按照需要进行层积才行。为此，油墨主要需要满足三个条件。一是下层的油墨能够均匀覆盖，二是要具有不被上层层积的油墨侵蚀的抗蚀性，三是要确保良好的图案形成特性。
此外，为将形成工艺控制在200℃以下，溶剂等材料的选择受到限制。这就需要在这些限制下均匀分
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